22 : 59 : 48
January 23, 2025

В МЭИ разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолете

Пресс-релиз НИУ "МЭИ" Учёные НИУ «МЭИ» разработали экспериментальный образец источника излучения в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне длин волн (ЭУФ). Эксперименты с добавлением лития в гелиевый плазменный разряд показали возможность создания стационарного источника, востребованного технологией ЭУФ литографии, которая применяется в микроэлектронике для уменьшения характерных размеров элементов схем, в результате чего увеличивается их быстродействие и уменьшается размер изделия. По сравнению с существующими импульсными источниками ЭУФ излучения, в которых создание и нагрев плазмы...
Copyright information of photo and video materials was taken from the website «Automation in the industry» , more details in our Terms of Service
Analysis
×