30.09.2024
На форуме «Микроэлектроника 2024» резиденты ОЭЗ «Технополис Москва» – Микрон, крупнейший производитель российской микроэлектроники (входит в группу компаний «Элемент»), и Зеленоградский нанотехнологический центр, ведущий российский исследовательский центр в области технологий и оборудования микроэлектроники, подписали долгосрочное соглашение о сотрудничестве в целях решения задач импортозамещения оборудования. Предметом соглашения является сотрудничество в освоении технологий и производстве фотолитографического оборудования с нормами 350-90 нм на территории Российской Федерации.
В рамках соглашения планируются работы по постановке технологии производства отечественного оборудования и обеспечению им производственных площадок, проведение совместных исследований, экспериментальных работ и тестирования установок фотолитографического и электроннолучевого оборудования, оборудования контроля привносимой дефектности на собственных производственных площадках, а также организация программ обучения и стажировок специалистов.
Соглашение о сотрудничестве подписано генеральным директором АО «ЗНТЦ» Анатолием Ковалевым и генеральным директором АО «Микрон» Гульнарой Хасьяновой.
– Актуальная задача для микроэлектроники сегодня – развитие электронного машиностроения и технологий, прежде всего фотолитографии. Производство фотолитографа требует мощнейшего научного потенциала, в мире менее 10 стран, способных его производить, в их числе и Россия. В рамках сотрудничества с Микроном планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование фотолитографического оборудования с топологическими нормами 350-90 нм, разрабатываемого совместно с белорусским ОАО «Планар», – отметил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.
– Фотолитография – ключевая операция в микроэлектронике. Оборудование, которое мы будем осваивать совместно с ЗНТЦ, предназначено для выпуска чипов с топологическими нормами до 350 нм, которые используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах. Импортозамещение оборудования – необходимое условие обеспечения технологического суверенитета, – сообщила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон».
Фотолитограф – важнейшее оборудование в техпроцессе, предназначенное для формирования структуры микросхемы на кремниевой пластине, покрытой слоем фоторезиста – полимерного светочувствительного материала.
Микроэлектроника - одна из сквозных и критических технологий, важных для обеспечения задач технологического суверенитета. Микрон – главная отраслевая производственная площадка, открытая для сотрудничества со всеми, кто заинтересован в развитии отечественной компонентной базы, локализации продукции, импортозамещении материалов и развитии русской инженерной школы, технологической базы и производства.
Фото: vk.com/zntc_ao