Первым была корпорация Intel.
Известно, что корпорация Intel первой из коммерческих клиентов ASML получила передовой литографический сканер для работы со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением и высоким значением числовой апертуры (High-NA). Такое оборудование будет использоваться Intel в исследовательском центре в штате Орегон в рамках экспериментов с техпроцессом Intel 18A, но в серийном применении предусматривается не ранее момента освоения техпроцесса Intel 14A во второй половине текущего десятилетия.
Агентство Reuters сообщает об отгрузке одного из литографических сканеров ASML такого класса второму клиенту компании. Его имя не упоминается, но из сторонних источников известно, что в мире уже эксплуатируется не менее трёх сканеров модели TWINSCAN EXE:5000. Первым располагает сама ASML в своей лаборатории, второй достался Intel, а третий должен работать в бельгийской исследовательской организации Imec, которая поможет японской Rapidus освоить выпуск 2-нм чипов к 2027 году.
Источник изображения: ASML
Imec сложно считать коммерческим клиентом ASML, поскольку выпуском чипов на продажу данная организация не занимается, поэтому можно предположить, что сканер TWINSCAN EXE:5000 был отгружен либо TSMC, либо Samsung. В конце концов, именно эти компании в своё время купили крупные пакеты акций ASML, чтобы обеспечить компании возможность освоить EUV-литографию.