Научный руководитель НЦФМ академик РАН Александр Сергеев сообщил, что демонстрационный образец российского литографа для производства микросхем будет готов в течение ближайших двух лет, а в течение пяти лет ученые планируют изготовить промышленный вариант установки.
– Мы планируем в течение двух лет сделать машину, она называется «альфа-машиной», которая подтвердит правильность выбранной технологии и продемонстрирует работающий литограф. А дальше уже будет осуществляться изготовление следующей версии, такой, которая будет комплексом, что можно будет поставить на предприятие микроэлектронной промышленности, – рассказал Александр Сергеев, отметив, что в России есть практически все компетенции, чтобы такой промышленный вариант отечественного литографа появился уже через пять лет. Основная задача альфа-машины – демонстрация того, что все фрагменты технологии работают вместе, а не по отдельности, отметил академик: «Это и источник рентгеновского изучения, и рентгеновская оптика, которая правильным образом проецирует на фоторезисте, это и фоторезисты, и система позиционирования с нанометровой точностью».
– Появление такого производства в Сарове позволит выйти на уникальную специализацию для этой ТОР, – отметил генеральный директор АО «Атом-ТОР» Николай Пегин. – Вместе с уникальными возможностями технопарка, где реализован ряд лабораторных технологий для оценки электромагнитной совместимости изделий, и с опорой на потенциал НФЦМ, преференциальный режим позволит быстро и эффективно «приземлять» практические бизнес-решения, переводя их в формат малых предприятий.
Напомним, ранее Александр Сергеев отметил важность механизмов опережающего развития для коммерциализации технологий, которые будут созданы в Сарове.
– Мы ориентируемся на то,что механизмы территорий опережающего развития в ЗАТО помогут нам в коммерциализации технологий, – отметил Александр Сергеев. – С одной стороны, в проекте развития НФЦМ участвует государство и крупнейшие компании. Но для создания малых и средних предприятий, которые будут развивать конкретные проекты, режим ТОР обязательно будет использоваться. Об этом говорит успешный опыт РФЯЦ-ВНИИЭФ по взаимодействию с компаниями-резидентами технопарка. Уверен, часть наших разработок мы сможем поместить в производства на территориях ЗАТО.
Научный руководитель РФЯЦ-ВНИИЭФ Вячеслав Соловьёв добавил, что режим преференций – это одно из направлений развития, которое востребовано в том числе в проекте «Большой Саров», одобренный на государственном уровне. По его словам, в рамках этой программы администрация Сарова руководство РФЯЦ ВНИИЭФ активно развивают сотрудничество с предприятиями, базирующимися на закрытой территории, привлекают их к реализации гражданских программ научного центра. Характерные примеры – центр компьютерного обучения, в котором проводится курс по программному пакету «Логос». Другой пример – вычислительный центр, через который внешним предприятиям организован доступ к вычислительным ресурсам ВНИИЭФ.
Фото: Атом-ТОР